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測量顯微鏡是光學(xué)計(jì)量儀器之一種,是指配有瞄準(zhǔn)顯微鏡和坐標(biāo)工作臺的用于二維坐標(biāo)尺寸測量的光學(xué)計(jì)量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其
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